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半导体
在半导体行业中,与快速发展的市场保持技术同步迭代至关重要。我们了解半导体行业需要的信心是只有通过与我们对客户的创新需求做出及时响应、提供准时交货以及提供能让客户保持盈利的价格的合作伙伴才能获得合作资格。在此种苛刻的技术要求和市场需求下,我们都能提供让您满意的服务。 作为一家拥有超过 50 年的波纹管设计经验和自上而下的卓越运营团队的公司,我们已经生产了超过 500,000 个波纹管和超过 12,000 个全新和翻新的静电吸盘基座。我们还设计和制造复杂的前端晶圆工艺组件,包括加热器基座、晶圆和基座升降组件以及静电卡盘 (ESC),这些组件可以通过高级涂层进行改进。 由于我们的快速原型制作、准时交货和严格的过程控制,我们是领先设备 OEM 和晶圆厂的首选供应商。

我们的定制 OEM 解决方案提供最高质量、有竞争力的价格和一系列额外优势,包括:
  • 在经过认证的现场洁净室中进行集成和测试
  • 有竞争力的交货时间
  • “为可制造而设计”的心态 和技术支持
  • 提供和客户协作的工作环境
  • 测试、分析、故障分析能力
行业:半导体
客户:某质量流量控制器厂家
  • 背景:
    客户是全球知名的流量器制造商,需要更专业更低维护率更可靠的密封方案配套。
  • 面临的挑战:
    客户期待长期合作和优质的产品质量及服务,对于产品迭代升级时的工况有更多的创新支持需求。痛点:有很多非标设计且技术需要持续更新迭代,通过的电子级气体有一定的腐蚀性,且对密封性要求很高。
  • 操作工况:
    应用部位:质量控制器内部各管路、进出口连接处
    温度: <50°C
    压力: 常压
    介质:半导体各种电子气体
    泄漏率要求: 1*10-9 CC/S(氦气)
    典型尺寸:直径约Ø12mm
  • 解决方案:
    基于客户端可接受的金属材料,Garlock提供的密封解决方案主要为超低载荷就能实现氦气级密封为不锈钢退火的HELICOFLEX® Delta 和镍退火的 HELICOFLEX® Delta。
    HELICOFLEX® Delta 密封方案的优点明显,其在较低载荷下就能实现优秀的密封性能,金属选材耐腐蚀,可满足超高纯度要求的清洁度要求。
HELICOFLEX® DELTA 弹簧加强金属密封
HELICOFLEX® DELTA 密封件是 HELICOFLEX® 弹簧加强密封件系列的一种。 这是一种独特的密封解决方案,在密封件表面有两个突起“?”。
通过将压缩载荷集中在 “?”突起上,使得覆层材料发生塑性变形所需的载荷大大降低。 密封轨道中产生的高接触应力使 HELICOFLEX® DELTA 密封件成为拥有超低氦气泄漏率,是超高真空应用的绝佳密封方案选择。 只要满足最低硬度要求,通常就没有损坏法兰密封面的风险。
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